某半导体芯片厂在生产制造期间中采用氯化铵系定影液，产生高密度含NOx生活污水，日补救量50吨。生活污水内含NO2-达2000mg/L，且有轻微充分光刻胶营养成分，补救难易不大。 2. 废气物质及渠道 定影制作工艺废水（最主要大气污染源） 晶圆洗生产废水 有机废气洗滌塔出水 3. 治理工艺设备过程 主要采用"高端空气氧化+有级生物学外理"不断创新工序： 活性氧空气氧化 ：能够 三氧有器生成O3，将难化学降解可挥发物拆解为小原子核的物质，互相将NO2-腐蚀为NO3-。 生物学膜不良流化床反应器（MBR） ： 1、级：环世界室内环境下添加甲醇为碳源，提高反反硝化作用反应迟钝 二、级：好氧生物工程膜进一部吸附有机酸物 电有机化学广度工作 ：适用钛基铝层电极材料，按照电解法反应彻底解决被分解转换成的残留物污染源物。 4. 决定性成果 NOx总氮高于8mg/L如下 COD保持稳定在30mg/L以里 焦化废水回收利用率达60% 操作系统运作用电量把控在3.5kWh/吨水，较过去的工艺环保20%。