该厂为85英寸晶圆研发线生活设施的超纯净水设计,一天形成含硅废污水150吨。废污水里虽无血本属,但硅分子量高易结渣,且阻值率需提升18MΩ·cm就可以工业生产废水解决。原始解决工艺技术无非需求新颁发的《电子器材工业生产水空气有害物质尾气废气直接排放标准的》(GB39731-2020)专门尾气直接排放规定值。
生活污水成分表特别
其主要环保问题物
:电解质溶液硅(200-300mg/L)、顆粒硅(粒度0.1-1μm)
特有特殊要求
:TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L
水质量基本特性
:低纯水电导率(<50μS/cm)但硅单质要素较为复杂
除理鑫霖环保具体步骤
创新技术运用"梯级膜脱离+电去阴离子"组合式艺:
微滤预处里
:1μm瓷砖膜短信拦截大顆粒硅,通量提升80LMH
化合物交互不饱和树脂
:D201大孔树酯首选性离心分离硅酸分子式
特殊RO设计
:第一次段收集率60%,二段按照高脱硼膜元器件封装
EDI电去化合物
:功率密度单位2A/m²,定期清掉残存铝离子
UV紫外线除臭
:254nm太阳光的太阳光线服用量40mJ/cm²
技巧闪光点
搭建专门阻硅剂(充分胺类组合物),廷迟膜严重污染周期怎么算3倍
EDI模块图片创新性流道设汁,硅清掉率的提升至99.8%
同屏在线硅分折仪(在线测量范畴0.1-500μg/L)达成识贫有效控制
程序运行功效
经第几方面方测试:
总硅从280mg/L下降0.05mg/L
硼硫含量从8μg/L降落到0.3μg/L
体统收旧率从原40%不断提升至68%
膜更換时间延长至至5年,年执行价格降35%