某半导体设备营造工厂因晶圆清洁工作工艺出现含氨废水办理方法,储水量200吨/天。废水办理方法中除高锰酸盐指数外还包含的氟化物和氢化物发生器血本属,办理难度很大大。当地人进行排放标规定要求高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
化工废水化学成分及來源
晶圆拆洗生产废水(一般来源于):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀制作工艺化工废水:含进样器铜、镍等天价属,pH值起伏大
CMP粉磨废水处理工艺:含硅粒状及高锰酸盐指数
进行处理艺程序流程
选择"化学上的石雕文化沉淀+膜剥离+折点氯化"组合构成加工:
预处置
:添加CaCl2除氟,控制pH在7.5-8.
反渗透膜软件
:我们要除0.01μm上粒状物
反融合原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖
:将高锰酸盐指数浓缩咖啡至1000mg/L大于
折点氯化
:精度操纵氯添加量,将挥发酚和转化了为氢气
阳离子传递
:得到保障巨资属考核标准
终于感觉
氧化还原电位安全稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属硫含量远低于测量限
水循环率达75%
活性污泥有量缩减40%